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申请/专利权人：安徽中科米微电子技术有限公司
申请日：2020-05-13
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN113671689B
主分类号：G02B26/08
分类号：G02B26/08;B81B7/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开
摘要：本发明提供一种具有大镜面的MEMS转镜结构，包括：扭转台面；转轴，对称设于所述扭转台面的相对两侧；反射镜面，通过镜面支撑体设于所述扭转台面的上方；平衡质量块，设于所述扭转台面的下方。通过本发明解决了现有伞状转镜结构存在抗振可靠性的问题。
主权项：1.一种具有大镜面的MEMS转镜结构，其特征在于，包括：扭转台面；转轴，对称设于所述扭转台面的相对两侧；反射镜面，通过镜面支撑体设于所述扭转台面的上方；平衡质量块，设于所述扭转台面的下方；还包括：具有转动空间的框架及转动限位槽，其中，所述扭转台面、所述镜面支撑体、所述反射镜面及所述平衡质量块构成的转动体部分容置于所述转动空间中，所述转动限位槽设于所述框架的底部且与所述转动空间连通，并容置部分所述平衡质量块；其中，所述MEMS转镜结构包括静电驱动型的单轴转镜结构或静电驱动型的双轴转镜结构；在所述MEMS转镜结构为单轴转镜结构时，所述扭转台面、所述镜面支撑体、所述反射镜面及所述平衡质量块构成的转动体通过所述转轴安装于所述框架上；所述MEMS转镜结构还包括：下梳齿，设于所述框架与所述转轴平行的两个内边缘；上梳齿，设于所述扭转台面边缘且与所述下梳齿对应设置；若干引线焊盘，设于所述框架上且与所述下梳齿和所述上梳齿对应电连接；在所述MEMS转镜结构为双轴转镜结构时，所述框架包括外框架及通过外转轴安装于所述外框架上的内框架，所述扭转台面、所述镜面支撑体、所述反射镜面及所述平衡质量块构成的转动体通过所述转轴安装于所述内框架上，所述转轴与所述外转轴垂直设置；所述MEMS转镜结构还包括：位于内侧的下梳齿，设于所述内框架与所述转轴平行的两个内边缘；位于内侧的上梳齿，设于所述扭转台面边缘且与位于内侧的下梳齿对应设置；位于外侧的下梳齿，设于所述外框架与所述外转轴平行的两个内边缘；位于外侧的上梳齿，设于所述内框架的外边缘且与位于外侧的下梳齿对应设置；若干引线焊盘，设于所述外框架上且与位于内侧的下梳齿、位于内侧的上梳齿、位于外侧的下梳齿及位于外侧的上梳齿对应电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽中科米微电子技术有限公司 一种具有大镜面的MEMS转镜结构
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