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申请/专利权人：深圳市优行光能科技有限公司
申请日：2023-11-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN221156609U
主分类号：B01J19/00
分类号：B01J19/00;C01B33/18
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权
摘要：本实用新型涉及一种超高纯度石英生产装置，包括氧源模组、熔化模组、混合模组、雾化结晶模组，混合模组包括石英三叉管和陶瓷喷嘴，石英三叉管的第一输入口连接氧源模组，石英三叉管的第二输入口连接熔化模组，石英三叉管的输出口设置陶瓷喷嘴；雾化结晶模组包括蒸发器和冷凝管，蒸发器用于雾化二氧化硅并反射到所述冷凝管，冷凝管用于凝结出石英微粒。本实用新型的超高纯度石英生产装置以IC级回收单晶硅或多晶硅为原料，采用创新技术‑‑“气相”合成克服硅氧化反应中的钝化现象，能够工业化大批量生产超高纯石英材料；并且装置进一步简化，摒弃了超声波设备，规避了金属等新的杂质生成，优化了超高纯度石英的质量。
主权项：1.一种超高纯度石英生产装置，其特征在于，包括：氧源模组，用于提供氧气与水混合的氧源气体；熔化模组，用于盛装并熔化硅料，以提供液态硅；混合模组，用于混合所述氧源气体和所述液态硅，该混合模组包括石英三叉管和陶瓷喷嘴，所述石英三叉管的第一输入口连接所述氧源模组，所述石英三叉管的第二输入口连接所述熔化模组，所述石英三叉管的输出口设置所述陶瓷喷嘴，且所述陶瓷喷嘴正对蒸发器；雾化结晶模组，包括所述蒸发器和冷凝管，所述蒸发器用于雾化二氧化硅并反射到所述冷凝管，所述冷凝管用于冷却二氧化硅并凝结出石英微粒。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市优行光能科技有限公司 一种超高纯度石英生产装置
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