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【实用新型】一种硅片盒对齐装置_上海邃铸科技有限公司_202322857313.6 

申请/专利权人:上海邃铸科技有限公司

申请日:2023-10-24

公开(公告)日:2024-06-18

公开(公告)号:CN221164955U

主分类号:B65G49/07

分类号:B65G49/07;B65G47/90

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.18#授权

摘要:本实用新型涉及硅片生产技术领域,具体地说,涉及一种硅片盒对齐装置,包括机械臂,机械臂上设有托取组件,托取组件用于托取硅片盒,硅片盒的一端面上相对设有通孔,托取组件包括安装座,安装座上相对设有托取臂杆,托取臂杆上设有可伸入对应通孔内的爪杆,安装座上设有用于调整托取臂杆间距离的驱动组件,爪杆上设有与对应通孔配合的锁止组件,锁止组件用于对硅片盒进行锁止。本实用新型,通过机械臂、托取组件和感应装置的设置,使得硅片盒的放置过程无需多次对齐,使得硅片盒的放置能够变得更加快速高效,且增加生产效率。

主权项:1.一种硅片盒对齐装置,其特征在于:包括机械臂100,机械臂100上设有托取组件110,托取组件110用于托取硅片盒120,硅片盒120的一端面上相对设有通孔210,托取组件110包括安装座320,安装座320上相对设有托取臂杆300,托取臂杆300上设有可伸入对应通孔210内的爪杆302,安装座320上设有用于调整托取臂杆300间距离的驱动组件,爪杆302上设有与对应通孔210配合的锁止组件,锁止组件用于对硅片盒120进行锁止。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海邃铸科技有限公司 一种硅片盒对齐装置

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