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申请/专利权人：安徽先捷电子股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶圆承载盘，包括承载组件，所述承载组件上端抵接有晶圆防护盖，所述晶圆防护盖底端固接有连接端块，所述连接端块一端固接有拨块，所述晶圆防护盖底端固接有晶圆防护块一；本实用新型中当需要对晶圆进行取出时，工作人员先通过拨块将一组晶圆防护盖从承载组件内部取出并平稳放置，此时将承载组件反向放置在晶圆防护盖上方，之后工作人员通过按压另一组晶圆防护盖顶端的按压块带动推动块进行运动，推动块将承载组件内部的晶圆推出，减少了工作人员使用镊子取晶圆时造成的伤害，当晶圆取出时，工作人员松开按压块，此时按压块在复位弹簧的反作用下复位，方便下一次对晶圆取出。
主权项：1.一种晶圆承载盘，其特征在于，包括承载组件1，所述承载组件1上端抵接有晶圆防护盖2，所述晶圆防护盖2底端固接有连接端块3，所述连接端块3一端固接有拨块4，所述晶圆防护盖2底端固接有晶圆防护块一5，所述晶圆防护盖2内部开设有容置腔6，所述晶圆防护盖2顶端滑接有按压块7，所述按压块7底端固接有推动块8，所述推动块8与容置腔6滑动连接，所述推动块8一端固接有滑动块9，所述晶圆防护盖2内部开设有滑动槽10，所述滑动槽10内部固接有复位弹簧11，所述复位弹簧11两端分别固接所述滑动槽10内部底端与所述滑动块9底端，所述推动块8底端固接有晶圆防护块二12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽先捷电子股份有限公司 一种晶圆承载盘
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