申请/专利权人：长春理工大学

申请日：2024-05-22

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN118232156A

主分类号：H01S3/117

分类号：H01S3/117;H01S3/10;H01S3/106;H01S3/127;B23K26/70;B08B7/00

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.06.21#公开

摘要：本发明提供了一种脉冲簇复合脉冲激光装置及输出方法，涉及激光技术领域，该装置包括第一腔镜、λ4波片、RTPQ开关、偏振片、第一泵浦模块、第一激光晶体、偏振分光棱镜、输出镜、第二泵浦模块、第二激光晶体、声光Q开关、第二腔镜、信号发生器、延时器、激光检测装置、信息处理装置。本发明通过声光Q开关与电光Q开关配合实现长波的ms级脉冲激光、ns级脉冲激光或者ms‑ns脉冲簇及其不同组合形式的激光脉冲簇输出，并通过信号处理装置，根据实际所需切换激光峰值功率，实现了实时清洁，避免了峰值功率过高造成的损坏，通过调节延时器，调整ms‑ns间隔复合脉冲簇激光占空比以及依次作用，实现靶材的快速清洁。

主权项：1.一种脉冲簇复合脉冲激光装置，其特征在于，包括：第一腔镜（1）、λ4波片（2）、RTPQ开关（3）、偏振片（4）、第一泵浦模块（5）、第一激光晶体（6）、偏振分光棱镜（7）、输出镜（8）、第二泵浦模块（9）、第二激光晶体（10）、声光Q开关（11）、第二腔镜（13）、信号发生器（12）、延时器（14）、激光检测装置（15）、信息处理装置（16），其中：所述第一腔镜（1）、所述输出镜（8）组成ms脉冲激光线性谐振腔，所述输出镜（8）、所述偏振分光棱镜（7）、所述第二腔镜（13）组成L型的ns脉冲激光谐振腔；所述第一腔镜（1）与所述输出镜（8）之间依次设置有所述λ4波片（2）、所述RTPQ开关（3）、所述偏振片（4）、所述第一激光晶体（6）、所述偏振分光棱镜（7）；所述第二腔镜（13）与所述偏振分光棱镜（7）之间依次设置有所述声光Q开关（11）、所述第二激光晶体（10）；所述第一激光晶体（6）和所述第二激光晶体（10）为各向异性激光晶体；所述第一泵浦模块（5）位于所述第一激光晶体（6）侧面，所述第二泵浦模块（9）位于所述第二激光晶体（10）侧面；所述信号发生器（12）与所述声光Q开关（11）电连接，所述信号发生器（12）通过控制反馈电压调节所述声光Q开关（11）的射频信号幅值；所述激光检测装置（15）位于所述第二腔镜（13）上方；所述信息处理装置（16）与所述信号发生器（12）、所述延时器（14）以及所述激光检测装置（15）电连接；所述延时器（14）与所述第一泵浦模块（5）、所述第二泵浦模块（9）相连；所述偏振分光棱镜（7）的入射面朝向所述第一腔镜（1），水平偏振出射面朝向所述输出镜（8），垂直偏振出射面朝向所述第二腔镜（13）反方向；所述偏振片（4）的偏振方向为水平方向；所述λ4波片（2）的快轴与水平方向亦呈45°角。

全文数据：

权利要求：

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