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【发明授权】激光钻孔对位方法_淄博芯材集成电路有限责任公司_202410396085.3 

申请/专利权人:淄博芯材集成电路有限责任公司

申请日:2024-04-03

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN117998753B

主分类号:H05K3/00

分类号:H05K3/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权;2024.05.24#实质审查的生效;2024.05.07#公开

摘要:本发明公开了一种激光钻孔对位方法,它属于载板制作技术领域,其解决了现有技术中因标靶加工时标靶外露孔打孔面积较大,加工位置存在偏移时无法及时检出的问题。它主要包括步骤S1:在内层板上设置多个对位点;步骤S2:在内层板上压合外层板,以内层板的对位点为基准,在外层板上加工一圈首尾相连形成的激光孔环;步骤S3:观察激光孔环位置露出的对位点形状,进行判断以及调整激光加工位置。步骤S4:固定激光加工位置后,对外层板的加工区域进行加工。本发明采用激光打孔加工一圈首尾相连形成的激光孔环,通过判断激光孔环与对位点的图形配合关系,可以在激光打孔前验证激光孔与内层板是否错位,可以更好的矫正加工位置。

主权项:1.一种激光钻孔对位方法,用于确认激光打孔与载板内层图形的对位情况,载板包括内层板和外层板,其特征在于:包括以下步骤:步骤S1:在内层板(1)上设置多个对位点(4);对位点(4)形状呈圆环形,对位点包括校对环(5)和错位环(6);校对环(5)同心设置在错位环(6)内;步骤S2:在内层板(1)上压合外层板(2),以内层板(1)的对位点(4)为基准,在外层板(2)上加工一圈首尾相连的激光孔环(3);步骤S3:观察激光孔环(3)中露出的所述校对环(5)和错位环(6)的情况,进行判断并调整确定激光加工位置;步骤S4:确定激光加工位置后,对外层板(2)的加工区域(7)进行加工;所述的步骤S3中进行判断并确定激光加工位置包括以下子步骤:S31:在激光孔环中将校对环(5)完全显露,则表示打孔位置对位良好,可继续步骤S4;S32:在激光孔环中校对环(5)显露不全,但未观察到错位环(6),则表示打孔位置在标准错位量之内,仍可继续进行或做轻微移动后进行步骤S4;S33:在激光孔环中观察到错位环(6),或未观察到校对环(5),则不可继续步骤S4,需调整后重新进行步骤S2,直至观察到校对环(5)且未观察到错位环(6)后,进行步骤S4。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 淄博芯材集成电路有限责任公司 激光钻孔对位方法

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