龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：株式会社东光高岳
申请日：2022-10-21
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118235234A
主分类号：H01L21/60
分类号：H01L21/60
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本发明涉及一种工件检查装置，即使在应用大型检查工具的情况下也不使生产率降低地检查托盘收纳的工件。工件检查装置10具备：第一载台11，将在第一交接位置31搬入了收纳于托盘26的工件30a的第一台21向检查位置35移送；检查工具15，在该检查位置35检查工件30；第二载台12，将在第二交接位置32搬入了另一个工件30b的第二台22向第一台21退避之后的检查位置35移送；以及输送部25，使检查前的工件30从托盘26向第一交接位置31以及第二交接位置32搬入，并且将检查后的工件30a、30b从第一交接位置31以及第二交接位置32向托盘26搬出。
主权项：1.一种工件检查装置，具备：第一载台，将在第一交接位置搬入了工件的第一台向检查位置移送；检查工具，在上述检查位置检查上述工件；第二载台，将在第二交接位置搬入了另一个工件的第二台向上述第一台退避之后的上述检查位置移送；以及输送部，将检查前的上述工件向上述第一交接位置以及上述第二交接位置搬入，并且将检查后的上述工件从上述第一交接位置以及上述第二交接位置搬出。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号