申请/专利权人：西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

申请日：2019-09-17

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN110626801B

主分类号：B65G49/06

分类号：B65G49/06;B65G47/91;B65G47/24;B65G43/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2020.01.24#实质审查的生效;2019.12.31#公开

摘要：本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。

主权项：1.一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，包括传送带（1）和电控器，在传送带（1）上放置有被传送硅片（16），在传送带（1）的上方设置有旋转操作机构支架板（2），在旋转操作机构支架板（2）上分别设置有空心轮轴轴承（11）和伺服电机支架（3），在空心轮轴轴承（11）中设置有同步带轮空心轴（10），在同步带轮空心轴（10）的上端设置有同步带轮（9），在同步带轮空心轴（10）的下端连接有吸盘（12），在伺服电机支架（3）上设置有伺服电机（4），伺服电机向下伸出的电机输出轴（5）通过联轴器（6）与主动轮（7）连接在一起，在同步带轮（9）一侧的旋转操作机构支架板（2）上分别设置有惰轮的固定轮轴和从动轮轮轴轴承（22），在惰轮的固定轮轴上活动设置有惰轮（15），在从动轮轮轴轴承（22）中设置有从动轮轮轴（23），在从动轮轮轴（23）的上端设置有从动轮（17），在主动轮（7）、同步带轮（9）、惰轮（15）和从动轮（17）之间设置有封闭的同步带（8），在同步带轮空心轴（10）的上端连接有真空吸附塑料管（13），真空吸附塑料管（13）的另一端与真空系统（14）连通在一起，真空系统（14）与电控器电连接在一起，其特征在于，在同步带轮（9）外侧的旋转操作机构支架板（2）上间隔地设置有旋转启动位槽型光控开关（18）和旋转终止位槽型光控开关（19），旋转启动位槽型光控开关（18）和旋转终止位槽型光控开关（19）是设置在同步带轮（9）外侧的同一圆周上的，在旋转操作机构支架板（2）的下底面上设置有检测硅片是否被吸附的接近开关（21），旋转启动位槽型光控开关（18）、旋转终止位槽型光控开关（19）和接近开关（21）分别与电控器电连接在一起；在旋转操作机构支架板（2）上分别设置有四个空心轮轴轴承（11），该四个空心轮轴轴承（11）是沿传送带（1）传送方向在一条直线上等间隔地设置的，在每个空心轮轴轴承（11）中均设置有一个同步带轮（9）；在旋转操作机构支架板（2）上还分别设置有三个惰轮（15），在相邻的两同步带轮（9）之间均设置有一个惰轮（15），相邻的两同步带轮（9）与它俩之间的惰轮（15）连线后所形成的角为锐角；在从动轮轮轴（23）的上端连接有接触开关的触点触发摆杆（25），在触点触发摆杆（25）的一侧设置有接触开关（26），接触开关（26）设置在接触开关固定架（24）上，接触开关固定架（24）固定设置在旋转操作机构支架板（2）上，接触开关（26）与电控器电连接在一起。

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