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申请/专利权人：沃特洛电气制造公司
申请日：2021-05-03
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN115552230B
主分类号：G01N25/00
分类号：G01N25/00;G01J5/00
优先权：["20200502 US 63/019,267"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2023.05.23#实质审查的生效;2022.12.30#公开
摘要：一种方法包括：向部件提供热能，响应于提供热能来确定部件的热响应，以及基于参考热响应和该热响应来确定部件的热特性。该方法包括基于热特性和预测分析模型预测部件的表面条件，其中预测分析模型将部件的热特性与部件的估计表面条件相关联。
主权项：1.一种用于监测部件的表面条件的方法，所述方法包括：通过加热器向所述部件提供热能；通过控制器响应于提供所述热能来确定所述部件的热响应，其中，所述控制器包括一个或多个处理器，所述一个或多个处理器被配置成执行存储在非暂时性计算机可读介质中的指令；通过所述控制器基于参考热响应和所述部件的热响应来确定所述部件的热特性；以及通过所述控制器基于所述热特性和预测分析模型来预测所述部件的所述表面条件，其中，所述预测分析模型将所述部件的所述热特性与所述部件的估计表面条件相关联，并且其中，所述预测分析模型由机器学习例程生成，所述预测分析模型将半导体处理系统的一个或多个模型参数与所述热特性的变化相关联。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沃特洛电气制造公司 监测部件的表面条件的方法
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