龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：东友精细化工有限公司
申请日：2021-07-29
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN114075669B
主分类号：C23F1/14
分类号：C23F1/14;C23F1/02;H01L21/3213;H01L27/12;H01L21/77
优先权：["20200810 KR 10-2020-0099745","20210707 KR 10-2021-0089320"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2022.03.11#实质审查的生效;2022.02.22#公开
摘要：本发明涉及一种用于蚀刻金属膜的蚀刻剂组合物、使用所述蚀刻剂组合物的布线形成方法以及用于液晶显示装置的阵列基板的制造方法，根据本发明的蚀刻剂组合物的特征在于包括氢过氧化物、氟化合物、唑类化合物、一个分子内具有氮原子和羧基的水溶性化合物、磷酸盐化合物以及硫酸盐化合物，其中，所述磷酸盐化合物和所述硫酸盐化合物中的任一个包括铵盐，且当“Y＝[水溶性化合物含量+硫酸盐化合物含量][氟化合物含量+磷酸盐化合物含量]”时，Y值为16以上且200以下。
主权项：1.一种蚀刻剂组合物，其特征在于，包括：A过氧化氢；B氟化合物；C唑类化合物；D一个分子内具有氮原子和羧基的水溶性化合物；E磷酸盐化合物；以及F硫酸盐化合物，其中，所述E磷酸盐化合物和所述F硫酸盐化合物中的任一个包括铵盐，并且下述等式1的Y值为16以上且200以下，其中相对于组合物的总重量，所述D一个分子内具有氮原子和羧基的水溶性化合物的含量为1.5至2.5重量％，且所述F硫酸盐化合物的含量为0.2至1.5重量％：[等式1]
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东友精细化工有限公司 蚀刻剂组合物、布线形成方法及用于液晶显示装置的阵列基板的制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号