申请/专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司

申请日：2021-08-19

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN113624459B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2021.11.26#实质审查的生效;2021.11.09#公开

摘要：本发明公开了一种基于相干层析成像的薄膜均匀性检测系统，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜表面反射后，通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像；所述采集单元包括第一载物台、第二载物台、线阵相机，用于采集所述薄膜干涉图像，第一载物台安装在光源入射至分光镜并经分光镜反射后的光路上，第二载物台安装在光源入射至分光镜并经分光镜透射后的光路上；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述薄膜干涉图像进行识别，检测所述薄膜干涉图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别。本发明能够实现薄膜表面或者透明薄膜的表面及内部均匀性检测。

主权项：1.一种基于相干层析成像的薄膜均匀性检测系统，其特征在于，包括成像单元、采集单元、处理单元、存储单元、控制单元；所述成像单元用于产生均匀照明的平行偏振光经薄膜表面反射后，通过透镜阵列形成干涉条纹在线阵相机干涉成像，包括分光镜；所述成像单元包括依次设置的光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜、分光镜和透镜阵列，所述光源、偏振片、滤光片、扩束镜、光阑、匀光镜、聚光透镜和分光镜的中心均位于同一轴线上，匀光镜位于聚光透镜焦点上；所述透镜阵列设置在经薄膜上下表面反射后的出射光入射至分光镜并经分光镜反射后的光路上；所述采集单元包括第一载物台、第二载物台、线阵相机，用于采集薄膜干涉图像，第一载物台安装在光源入射至分光镜并经分光镜反射后的光路上，第二载物台安装在光源入射至分光镜并经分光镜透射后的光路上；所述第一载物台上安放有作为参考基准的薄膜样本或待检测薄膜或吸收体，且第一载物台和透镜阵列分别位于分光镜的两侧；所述第二载物台用于承载待检测薄膜，配合外置的薄膜传送系统实现待检测薄膜的高精度成像；在第一载物台和第二载物台的对应起始处置和终点位置分别安装有起始位置传感器和终点位置传感器；所述处理单元用于采用预设的薄膜均匀性检测模型对所述薄膜干涉图像进行识别，检测所述薄膜干涉图像是否发生畸变，从而实现薄膜均匀一致性判别；所述存储单元用于预存各类滤波算法、薄膜均匀性检测模型和所述线阵相机获得的薄膜均匀一致和非一致典型薄膜干涉图像库；所述控制单元用于对所述成像单元、采集单元和处理单元的各种控制参数进行设定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院合肥物质科学研究院;安徽中科德技智能科技有限公司 基于相干层析成像的薄膜均匀性检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD