申请/专利权人：南京圣卡孚科技有限公司

申请日：2018-03-06

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN108211427B

主分类号：B01D19/00

分类号：B01D19/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2018.07.24#实质审查的生效;2018.06.29#公开

摘要：本发明提供一种硅片切割液除沫装置，包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔；所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。

主权项：1.一种硅片切割液除沫装置，其特征在于：包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔；所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮；所述浮子为锥形结构、置于所述锥形中心管顶部锥形区域内，所述锥形中心管的锥斜边与竖直方向夹角为45度；所述浮子为中空或实心的锥形圆台，且所述锥形中心管的锥形区域为可以容纳浮子的锥形圆台，浮子和锥形中心管的锥形区域为同轴关系；所述外圆环滤网由四块等尺寸14圆环滤网拼凑而成；所述内圆环滤网由两块等尺寸12圆环滤网拼凑而成；所述进液管的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其水平面高于所述盲板所在的水平面；所述出液孔的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板所在水平面。

全文数据：一种硅片切割液除沬装置技术领域[0001]本发明涉及液相除沫装置领域，特别涉及到一种硅片切割液除沫装置。背景技术[0002]在硅片切割过程中，需要使用切割液带走切割过程中产生的热量和碎肩以保证硅片的质量和切割效率，而切割液是以水和少量有机物组成的混合溶液，这些有机物中含部分起泡能力较强的表面活性剂类物质，在使用过程中受到泵、滤网以及喷头的强剪切作用导致切割液起沫严重，而这些泡沫在循环系统内无法消除，这些泡沫的产生会显著影响切割液的效果以及浪费切割机台集液槽的容积，目前主要通过添加消泡剂的化学消泡方式来抑制和消除泡沫，但是由于切割是一个动态过程，泡沫的产生受到多种因素影响，因此消泡剂的加入量很难完全适量，这给生产管理带来很大的难度，而且消泡剂的加入不仅会影响切割液质量，而且会增加硅片切割成本。发明内容[0003]本发明为了解决现有技术中存在的上述缺陷和不足，提供了一种硅片切割液除沫装置，该装置可以及时高效的移除硅片切割液在循环过程中产生的泡沫，取代目前的化学消泡方式。[0004]为解决上述技术问题，本发明提供一种硅片切割液除沫装置，包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔;所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。[0005]进一步，所述锥形封头的锥斜边与所述内筒体的夹角为45度。[0006]进一步，所述外圆环滤网的过滤精度为1mm，内圆环滤网的过滤精度为〇•a™。[0007]进一步，所述进液管的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其所述水平面高于所述盲板所在的水平面。[0008]进一步，所述浮子为锥形结构、置于所述锥形中心管顶部锥形区域内，所述锥形中心管的锥斜边与竖直方向夹角为45度。[0009]进一步，所述出液孔的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板所在水平面。[0010]进一步，所述外筒体和所述内筒体的底部采用焊接的方式固定相连。、[0011]进一步，所述锥形封头与所述内筒体之间设有外圆环滤网定位板，所述外圆环滤网通过外圆环滤网定位销固定在所述外圆环滤网定位板上。[0012]进一步，所述锥形中心管与所述内筒之间设有内圆环滤网定位板，所述内圆环滤网固定在所述内圆环滤网定位板上。[0013]进一步，所述盖板包括活动半圆盖和固定半圆盖。[0014]本发明所达到的有益技术效果:本发明提供一种硅片切割液除沫装置，该装置采用物理除沫法，不添加化学药剂，不会改变切割液组成，液体表面泡沫经过此装置能迅速移除，除沫过程无需额外提供分离动力，运行成本低;装置拆装简单方便，便于安装维护，装置设置移动滑轮便于转移，根据生产需求，除沫装置可以灵活匹配切割机台。附图说明[0015]图1本发明结构示意图。[0016]其中：1外筒体;2内筒体;3锥形封头;4外圆环滤网；5进液管;6锥形中心管;7浮子；8内圆环滤网；9出液管；10出液孔；11盲板；12外圆环滤网定位销；13外圆环滤网定位板；14内圆环滤网定位板;15活动半圆盖;16固定半圆盖;17万向轮;18定向轮。具体实施方式[0017]下面结合具体实施例对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。[0018]下面结合附图和实施例对本发明专利进一步说明。[0019]如图1所示，本发明提供一种硅片切割液除沫装置，包括外筒体1和内筒体2,所述内筒体2置于所述外筒体1内、底部固定相连，作为优选的技术方案，所述外筒体1和所述内筒体2的底部采用焊接的方式固定相连;所述外筒体1的端部设有与所述内筒体2相连的锥形封头3,所述锥形封头3上端部设有与内筒体2外壁相连的外圆环滤网4,作为优选的技术方案，所述锥形封头3与所述内筒体2之间设有外圆环滤网定位板13,所述外圆环滤网4通过外圆环滤网定位销12固定在所述外圆环滤网定位板13上;所述内筒体2中心位置处设有锥形中心管6,所述锥形中心管6的正上方设有浮子7,所述锥形中心管6的管壁通过贯穿内筒体2壁的进液管5与外筒体1连通，所述锥形中心管6的管壁与所述内筒体2之间设有内圆环滤网8,作为优选的技术方案，所述锥形中心管6与所述内筒体2之间设有内圆环滤网定位板14，所述内圆环滤网8固定在所述内圆环滤网定位板14上;所述锥形中心管6的底部设有出液管9,所述出液管9与所述锥形中心管6之间设有盲板11，所述出液管9上设有出液孔10;所述内筒体2的顶部设有圆形盖板，所述盖板包括活动半圆盖15和固定半圆盖16,所述外筒体1的底部设有万向轮17和定向轮18。[0020]为了便于泡沫的富集和及时溢出，所述锥形封头3的锥斜边与所述内筒体2的夹角为45度。[0021]为了有效截留大尺寸固形物，外圆环滤网4过滤精度为1mm，为了便于对外圆环滤网4的安装、拆卸和清理，外圆环滤网由四块等尺寸14圆环滤网拼凑而成。为了进一步捕捉泡沫和截留小尺寸固形物，内圆环滤网8的过滤精度为0.5mm，为了便于对外圆环滤网8的安装、拆卸和清理，内圆环滤网8由2块等尺寸12圆环滤网拼凑而成。[0022]为了有效控制进入锥形中心管6的液体均一性，尽可能避免液体的偏流，所述进液管5的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其所述水平面高于所述盲板所在的水平面。[0023]为了有效控制锥形中心管6出液速率和装置液位，所述浮子了为锥形结构、置于所述锥形中心管6顶部锥形区域内，即，所述浮子7为中空或实心的锥形圆台，且所述锥形中心管的锥形区域为可以容纳浮子的锥形圆台，且浮子7和锥形中心管的锥形区域为同轴关系，上述结构可以形成流体的折流和离心力，有利于泡沫的聚集;所述锥形中心管6的锥斜边与竖直方向夹角为45度。[0024]为了控制液体出液速率和出液均一性，尽可能避免液体的偏流，所述出液孔1〇的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板11所在水平面。[0025]以上已以较佳实施例公布了本发明，然其并非用以限制本发明，凡采取等同替换或等效变换的方案所获得的技术方案，均落在本发明的保护范围内。

权利要求：1.一种硅片切割液除沫装置，其特征在于:包括外筒体和内筒体，所述内筒体置于所述外筒体内、底部固定相连，所述外筒体的端部设有与所述内筒体相连的锥形封头，所述锥形封头上端部设有与内筒体外壁相连的外圆环滤网；所述内筒体中心位置处设有锥形中心管，所述锥形中心管的正上方设有浮子，所述锥形中心管的管壁通过贯穿内筒体壁的进液管与外筒体连通，所述锥形中心管的管壁与所述内筒体之间设有内圆环滤网，所述锥形中心管的底部设有出液管，所述出液管与所述锥形中心管之间设有盲板，所述出液管上设有出液孔;所述内筒体的顶部设有圆形盖板，所述外筒体的底部设有万向轮和定向轮。2.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述锥形封头的锥斜边与所述内筒体的夹角为45度。3.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述外圆环滤网的过滤精度为1mm，内圆环滤网的过滤精度为0.5mm。4.根据权利要求1所述的桂片切割液除沫装置，其特征在于:所述进液管的数量为4-8根，呈轴对称分布，且其所述水平面高于所述盲板所在的水平面。5.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述浮子为锥形结构、置于所述锥形中心管顶部锥形区域内，所述锥形中心管的锥斜边与竖直方向夹角为45度。6.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述出液孔的数量为8-16个，呈轴对称分布，且其所在水平面高于盲板所在水平面。7.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述外筒体和所述内筒体的底部采用焊接的方式固定相连。8.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述锥形封头与所述内筒体之间设有外圆环滤网定位板，所述外圆环滤网通过外圆环滤网定位销固定在所述外圆环滤网定位板上。9.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述锥形中心管与所述内筒之间设有内圆环滤网定位板，所述内圆环滤网固定在所述内圆环滤网定位板上。10.根据权利要求1所述的硅片切割液除沫装置，其特征在于:所述盖板包括活动半圆盖和固定半圆盖。

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