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申请/专利权人：易科微电子(深圳)有限公司
申请日：2023-12-01
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221194692U
主分类号：E05D5/02
分类号：E05D5/02
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型涉及一种合页，将第一安装件和第二安装件分别固定于等离子真空腔体和腔盖上，然后调节矫正件，以调节所述第一安装件与所述第二安装件的平面度。以调整第一安装件与第二安装件所连接的真空腔体与腔盖的平面度。以避免由于合页而导致等离子真空腔体的腔盖与腔体之间平面度低，造成等离子真空腔体密封性不高的问题。以提高等离子真空腔体对产品加工过程中的质量。
主权项：1.一种合页，其特征在于，所述合页包括：第一安装件，具有抵接面；第二安装件；连接组件，两端分别设于所述第一安装件和所述第二安装件上，所述连接组件开设有至少两个第一安装孔；至少两个矫正件，每个所述矫正件均与所述连接组件螺纹连接，每个所述矫正件均贯穿一个所述第一安装孔，并与所述抵接面抵接；其中，调节所述矫正件，以调节所述第一安装件与所述第二安装件的平面度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易科微电子(深圳)有限公司 合页
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