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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2022-06-14
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN117480870B
主分类号：H05H1/46
分类号：H05H1/46
优先权：["20210621 JP 2021-102227"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开
摘要：本发明公开的等离子体处理装置中，高频电源在电偏置能量的偏置周期内调节高频电功率的频率。高频电源使用基本时间序列作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间序列。高频电源以基于评价值改善匹配状态的方式，反复进行作为偏置周期内的高频电功率的频率的时间序列使用变更了的时间序列的处理。变更了的时间序列通过对基本时间序列施加相移量、使基本时间序列在频率方向缩放、或使基本时间序列的多个时间区间中的两个以上的时间区间在时间方向上缩放而得到。
主权项：1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：腔室；设置在所述腔室内的基片支承部；高频电源，其构成为供给高频电功率以在所述腔室内从气体生成等离子体；和偏置电源，其构成为向所述基片支承部供给电偏置能量以将离子引入所述基片支承部上的基片，该电偏置能量具有以具有偏置频率的倒数的时间长度的周期反复的波形，所述高频电源在供给所述高频电功率且向所述基片支承部供给所述电偏置能量的期间中进行下述处理：a作为所述周期内的所述高频电功率的频率的时间序列，使用作为预先决定的频率的时间序列的基本时间序列的处理；b接着，在所述周期中使用所述高频电功率的频率变更了的时间序列的处理；和c反复进行所述b，以对所述高频电源与其负载之间的阻抗的匹配状态基于反映该匹配状态的评价值进行改善的处理，所述高频电源使用下述时间序列作为在所述b中使用的所述时间序列：通过对所述基本时间序列施加相对于所述周期的相移量而得到的频率的时间序列；使所述基本时间序列在频率方向上放大或缩小了的频率的时间序列；或者包含与所述基本时间序列相同个数的频率在内的频率的时间序列，该频率的时间序列通过将所述基本时间序列的多个时间区间中的两个以上的时间区间在时间方向上放大或缩小而得到。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 等离子体处理装置和等离子体处理方法
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