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申请/专利权人：昆山中辰矽晶有限公司
申请日：2022-10-14
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201114U
主分类号：H01L21/673
分类号：H01L21/673;H01L21/66;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型提供一种用于防止硅晶片目检过程中放反的治具，本装置包括“M”支架底座，晶片篮U‑bar挡板及H‑bar挡板。将晶片篮放置在“M”支架底座1上，晶片篮U‑bar挡板2及H‑bar挡板3分别设置在“M”支架底座1两侧，晶片篮U‑bar挡板2与晶片篮U‑bar面相契合，晶片篮H‑bar挡板3与晶片篮H‑bar面相契合。本装置用以放置及检查晶片篮在目检制程中是否存在晶片篮的U‑bar和H‑bar放反的问题。本实用新型可以有效的改善，硅晶片目检制程作业时，晶片篮的U‑bar和H‑bar放反的问题，从而防止因目检制程放反，导致硅晶片抛光制程抛反所造成的不良问题，从而提高产品的良率。
主权项：1.一种用于防止硅晶片目检过程中放反的治具，用以放置及检查晶片篮在目检制程中是否存在晶片篮的U-bar和H-bar放反的问题，所述治具包括：“M”支架底座、晶片篮U-bar挡板及H-bar挡板，将晶片篮放置在“M”支架底座上，晶片篮U-bar挡板及H-bar挡板分别设置在“M”支架底座两侧，晶片篮U-bar挡板与晶片篮U-bar面相契合，晶片篮H-bar挡板与晶片篮H-bar面相契合，用以定位及检查晶片篮的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山中辰矽晶有限公司 一种用于防止硅晶片目检过程中放反的治具
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