申请/专利权人:晶海洋半导体材料(东海)有限公司
申请日:2023-10-12
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221201192U
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L21/677
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型提供一种插片机入篮装置,包括:基座;支撑架,所述支撑架设置在所述基座上;工作平台,所述工作平台设置在所述支撑架的顶端;传动组件,所述传动组件包括:主动轮和从动轮,所述主动轮和从动轮设置在所述基座上且分别位于所述支撑架的外侧;驱动部件,所述驱动部件连接所述主动轮以驱动所述主动轮转动;传送带,所述传送带绷设在所述工作平台上且连接所述主动轮以及所述从动轮,所述传送带用于传送硅片,其中,所述工作平台上设有疏水缺口和或所述工作平台下设有除水部,用于引导所述传送带上的水离开所述传送带。根据本实用新型的插片机入篮装置可以有效解决工作平台积水问题。
主权项:1.一种插片机入篮装置,其特征在于,包括:基座;支撑架,所述支撑架设置在所述基座上;工作平台,所述工作平台设置在所述支撑架的顶端;传动组件,所述传动组件包括:主动轮和从动轮,所述主动轮和从动轮设置在所述基座上且分别位于所述支撑架的外侧;驱动部件,所述驱动部件连接所述主动轮以驱动所述主动轮转动;传送带,所述传送带绷设在所述工作平台上且连接所述主动轮以及所述从动轮,所述传送带用于传送硅片,其中,所述工作平台上设有疏水缺口和或所述工作平台下设有除水部,用于引导所述传送带上的水离开所述传送带。
全文数据:
权利要求:
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