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申请/专利权人：上海应用技术大学
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118241161A
主分类号：C23C14/14
分类号：C23C14/14;C23C14/35
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及一种锆‑钛‑银非晶银纳米晶体多层薄膜及其制备方法，所述多层薄膜包括依次沉积于基体表面、具有周期性调制结构的锆‑钛‑银非晶薄膜和银纳米晶体薄膜，所述多层薄膜采用一个周期时的总厚度为70‑100nm，所述多层薄膜的周期数为5‑15。与现有技术相比，本发明维持高硬度的同时进一步降低了弹性模量。
主权项：1.一种锆-钛-银非晶银纳米晶体多层薄膜，其特征在于，该多层薄膜包括依次沉积于基体1表面、具有周期性调制结构的锆-钛-银非晶薄膜2和银纳米晶体薄膜3，所述多层薄膜采用一个周期时的总厚度为70-100nm，所述多层薄膜的周期数为5-15。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海应用技术大学 一种锆-钛-银非晶/银纳米晶体多层薄膜及其制备方法
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