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非晶结构件孔槽结构缺陷的判定方法及装置 

申请/专利权人:东莞市逸昊金属材料科技有限公司

申请日:2024-03-11

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118258862A

主分类号:G01N27/20

分类号:G01N27/20;G01N27/04

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本发明提供了一种非晶结构件孔槽结构缺陷的判定方法:对批量的合格非晶结构件孔槽结构两侧施加恒定电压,并监控检测处的电流值,待所述检测处的电流值稳定后进行记录,然后计算检测得到的所有电流值的平均值及标准差σ;对待检测的单个非晶结构件孔槽结构两侧施加相同的恒定电压,并监控检测处的电流值X,根据电流值判定非晶结构件是否为合格件。本发明中还提供了应用上述非晶结构件孔槽结构缺陷判定方法的装置,旨在解决非晶产业化中全检过程成本高、效率低的技术问题。

主权项:1.非晶结构件孔槽结构缺陷的判定方法,其特征在于,对批量的合格非晶结构件孔槽结构两侧施加恒定电压,并监控检测处的电流值,待所述检测处的电流值稳定后进行记录,然后计算检测得到的所有电流值的平均值及标准差σ;对待检测的单个非晶结构件孔槽结构两侧施加相同的恒定电压,并监控检测处的电流值X;判定规则如下:恒定电压条件下,X<-3σ,则判定该非晶结构件为气孔或杂质缺陷;恒定电压条件下,-3σ≤X≤+3σ,则判定该非晶结构件为合格;恒定电压条件下,X>+3σ,则判定该非晶结构件为晶化缺陷。

全文数据:

权利要求:

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