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申请/专利权人：无锡富创得智能科技有限公司
申请日：2024-03-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248607A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/687
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请提供了一种晶圆搬运装置，包括底座、转动设置于底座的伸缩臂以及转动设置于伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；第一夹爪和第二夹爪通过第一传动组件转动设置于伸缩臂末端，使得第一夹爪和第二夹爪具有同一旋转轴且可独立转动；伸缩臂内设置有与第一传动组件连接的第一驱动组件和第二驱动组件；第一驱动组件用于独立驱动第一夹爪转动，第二驱动组件用于独立驱动第二夹爪转动。本申请能实现大范围的移动搬运功能，并且在伸缩臂末端设置了可独立转动的第一夹爪和第二夹爪，使得晶圆搬运装置搬运两块晶圆，同时可以对不同的工位的晶圆进行灵活取放，提高了晶圆搬运装置的灵活性。
主权项：1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，包括底座、转动设置于所述底座的伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；所述第一夹爪和所述第二夹爪通过第一传动组件转动设置于所述伸缩臂末端，使得所述第一夹爪和所述第二夹爪具有同一旋转轴且可独立转动；所述伸缩臂内设置有与所述第一传动组件连接的第一驱动组件和第二驱动组件；所述第一驱动组件用于独立驱动所述第一夹爪转动，所述第二驱动组件用于独立驱动所述第二夹爪转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡富创得智能科技有限公司 晶圆搬运装置
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