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申请/专利权人：深圳信息职业技术学院
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118237679A
主分类号：B23H5/02
分类号：B23H5/02
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及精密加工技术领域，提供了一种模板式火花辅助化学刻蚀加工方法及装置，包括反应槽、模板组件、固定件和辅助电极，模板组件包括模板工具电极和绝缘模板，辅助电极用于与模板工具电极形成电场。模板工具电极上形成有第一阵列镂空结构，绝缘模板上形成有与第一阵列镂空结构位置对应的第二阵列镂空结构，由此，在反应槽的容置腔内盛有电解液的情况下，工件表面局部通过第一阵列镂空结构和第二阵列镂空结构暴露在电解液中，由此，可在第一阵列镂空结构处一次性诱导火花放电等离子体，在工件表面暴露位置加工形成微结构，实现一次性诱导离散、多点阵列火花放电等离子体，加工出阵列微结构，具有加工便捷性好、加工效率高的优点。
主权项：1.一种模板式火花辅助化学刻蚀加工装置，其特征在于，包括：反应槽，具有用于容置电解液的容置腔；模板组件，包括层叠设置的模板工具电极和绝缘模板，所述模板工具电极上形成有第一阵列镂空结构，所述绝缘模板上形成有与所述第一阵列镂空结构位置对应的第二阵列镂空结构；固定件，可拆卸式将所述模板组件和待加工的工件安装在所述容置腔内，所述固定件用于将工件安装在所述模板工具电极背离所述绝缘模板的一侧；辅助电极，设于所述容置腔内，用于与所述模板工具电极形成电场。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳信息职业技术学院 模板式火花辅助化学刻蚀加工方法及装置
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