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申请/专利权人：湖州东尼半导体科技有限公司
申请日：2024-04-30
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118237307A
主分类号：B08B1/12
分类号：B08B1/12;B08B1/30;B08B5/02;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种碳化硅衬底片清理装置。一种碳化硅衬底片清理装置，包括刷毛组件，其安装在底板上，用于清理碳化硅衬底片；吹气组件，其用于对所述刷毛以及所述碳化硅衬底片吹气；驱动组件，其用于对所述挤压部进行挤压。本发明通过驱动组件对挤压部挤压，形变部发生形变，使出气部对刷毛吹气，进而使得刷毛快速摆动，提高刷毛对碳化硅衬底片的刷动频率，刷毛在碳化硅衬底片表面移动的过程中将残留在碳化硅衬底片的碎片残渣快速清理。
主权项：1.一种碳化硅衬底片清理装置，其特征在于：包括刷毛组件1，其安装在底板2上，用于清理碳化硅衬底片，其中，所述刷毛组件1包括多组间隔设在所述底板2上的刷毛部101，所述刷毛部101包括环形阵列分布的直杆10101、设在所述直杆10101端部的刷毛10102；吹气组件3，其用于对所述刷毛10102以及所述碳化硅衬底片吹气，其中，所述吹气组件3包括设在所述直杆10101一侧的挤压部301、和所述挤压部301连通的形变部302、和所述形变部302连通的出气部303，所述挤压部301挤压后，所述形变部302发生形变，使所述出气部303对所述刷毛10102吹气，进而使得所述刷毛10102快速摆动；驱动组件4，其用于对所述挤压部301进行挤压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖州东尼半导体科技有限公司 一种碳化硅衬底片清理装置
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