申请/专利权人:株式会社尼康
申请日:2019-10-31
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN118237728A
主分类号:B23K26/00
分类号:B23K26/00;B23K26/03
优先权:["20181031 JP PCT/JP2018/040625"]
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.25#公开
摘要:提高物体加工的便利性及性能的加工装置及加工系统。加工系统包括:框体,收容物体;加工装置,设于框体内,对物体进行加工;测量装置,设于框体内,对通过加工装置进行了加工的物体进行测量;以及控制装置,使用物体的测量结果来设定加工条件。
主权项:1.一种加工装置,利用来自加工光源的加工光对工件进行加工,其特征在于,包括:测量光源,沿着测量光路射出测量光;光路合成构件,将来自所述加工光源的加工光所通过的加工光路与所述测量光路进行合成;以及光偏向构件,设置在由所述光路合成构件合成的合成光路,使通过所述合成光路的光偏向;照射到所述工件的所述测量光的回光通过所述光偏向构件以及所述光路合成构件,入射至设置在所述测量光路的检测装置,所述光偏向构件使所述工件上的所述加工光的照射位置以及所述工件上的所述测量光的照射位置偏向,根据所述检测装置的检测结果,测量所述工件的形状。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社尼康 加工装置以及加工系统
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