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申请/专利权人：重庆大学
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248593A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明公开了一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置，所述湿法刻蚀装置包括刻蚀腔、刻蚀液槽、喷淋系统，所述刻蚀腔用于容纳并刻蚀基板，所述刻蚀液槽用于储存刻蚀液，所述喷淋系统用于将刻蚀液槽内的刻蚀液喷入刻蚀腔内，所述刻蚀液槽与刻蚀腔底部连通；所述湿法刻蚀装置还包括降黏循环系统和控酸循环系统。本发明能够确保刻蚀负载效应被抑制，刻蚀均一性提升，刻蚀液H3PO4浓度稳定。
主权项：1.一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置，所述湿法刻蚀装置包括刻蚀腔、刻蚀液槽、喷淋系统，所述刻蚀腔用于容纳并刻蚀基板，所述刻蚀液槽用于储存刻蚀液，所述喷淋系统用于将刻蚀液槽内的刻蚀液喷入刻蚀腔内，所述刻蚀液槽与刻蚀腔底部连通；其特征在于：所述湿法刻蚀装置还包括降黏循环系统和控酸循环系统；所述降黏循环系统包括降黏循环管和降黏循环泵，所述降黏循环管通过降黏循环泵将刻蚀液槽内的刻蚀液引出后又送回刻蚀液槽，所述降黏循环管上按照刻蚀液流动的方向依次缠绕有第一超导螺线圈和第二超导螺线圈，所述第一超导螺线圈和第二超导螺线圈中分别通入交流电并产生交变磁场；所述控酸循环系统包括控酸循环管、控酸循环泵、加热容器、冷却容器和涡流管，所述控酸循环管通过控酸循环泵将刻蚀液槽内的刻蚀液引出后又送回刻蚀液槽，所述加热容器和冷却容器按照刻蚀液流动的方向依次连接在控酸循环管上，所述涡流管的热气支管与加热容器连通，所述涡流管的冷气支管与冷却容器连通，所述加热容器顶部设有排气管和排气泵。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆大学 一种用于PAN型刻蚀液的湿法刻蚀装置
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