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申请/专利权人：匠岭科技(上海)有限公司
申请日：2024-05-28
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118243015A
主分类号：G01B11/24
分类号：G01B11/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请提出了一种表面三维形貌的测量方法、装置、设备、介质和程序产品。其中，所述表面三维形貌的测量方法包括：针对样本采集一组不同高度下的干涉图像，并获得信号强度曲线；确定所述信号强度曲线中大于预定信号强度阈值的第一波峰位置，基于所述第一波峰位置确定所述样本的待处理形貌，所述待处理形貌在平面上的投影图像为待处理投影图像；基于所述待处理投影图像确定起始的生长投影图像，与所述起始的生长投影图像相对应的形貌为起始的生长形貌；基于所述起始的生长形貌，逐步更新生长形貌与所述待处理形貌；直到所述待处理形貌为空，将所有所述生长形貌求和以获取所述样本的表面形貌。所述方法可以更好地还原被测样本表面形貌。
主权项：1.一种表面三维形貌的测量方法，基于白光扫描干涉测量的原理，其特征在于，所述方法包括：针对样本采集一组不同高度下的干涉图像，并获得信号强度曲线；确定所述信号强度曲线中大于预定信号强度阈值的第一波峰位置，基于所述第一波峰位置确定所述样本的待处理形貌，所述待处理形貌在平面上的投影图像为待处理投影图像；基于所述待处理投影图像确定起始的生长投影图像，与所述起始的生长投影图像相对应的形貌为起始的生长形貌；基于所述起始的生长形貌，逐步更新生长形貌与所述待处理形貌；直到所述待处理形貌为空，将所有所述生长形貌求和以获取所述样本的表面形貌。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 匠岭科技(上海)有限公司 表面三维形貌的测量方法、装置、设备、介质和程序产品
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