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申请/专利权人：北京晶亦精微科技股份有限公司
申请日：2024-03-25
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248606A
主分类号：H01L21/677
分类号：H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供了一种适于水中取放晶圆的装置，包括支架、水槽、储存机构以及吸附机构；所述水槽设置在所述支架的底部；所述水槽内开设有容纳腔，所述容纳腔中用于存放纯水；所述储存机构设置在所述容纳腔中，所述储存机构内适于存放晶圆；所述吸附机构设置在所述支架上，所述吸附机构适于将所述晶圆从所述储存机构和待抛光位进行取放。在本发明中，通过设置上述结构，能够使所述晶圆在抛光后暂时保存在所述水槽的循环水中，对所述晶圆进行保湿，同时能够清洗所述晶圆表面的抛光残留液，进而提高晶圆的质量；另外，由于抛光时间较长，待所有晶圆抛光后，整体取出进行清洗操作，进而提高了晶圆的制造效率。
主权项：1.一种适于水中取放晶圆的装置，其特征在于，包括：支架1；水槽2，设置在所述支架1的底部；所述水槽2内开设有容纳腔，所述容纳腔中用于存放纯水；储存机构3，设置在所述容纳腔中，所述储存机构3内适于存放晶圆100；吸附机构4，设置在所述支架1上，所述吸附机构4适于将所述晶圆100从所述储存机构3和待抛光位进行取放。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晶亦精微科技股份有限公司 一种适于水中取放晶圆的装置
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