申请/专利权人：憬承光电科技(厦门)有限公司

申请日：2020-07-27

公开（公告）日：2024-06-25

公开（公告）号：CN111929320B

主分类号：G01N21/95

分类号：G01N21/95;G01N21/01;B07C5/342

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.25#授权;2020.12.01#实质审查的生效;2020.11.13#公开

摘要：本发明公开了一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体、晶圆提篮、工作台、纵向移动组件、横向移动组件、安装座、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台、支架、INKER标记仪、CCD对位仪、检查组件和扫描仪；该发明，通过增设纵向移动组件、横向移动组件、X轴移动组件、Y轴移动组件、吸附平台和检查组件，并配合CCD对位仪和扫描仪，从而使晶圆检查机能实时定位待检查晶圆的位置，自动对待检查晶圆完成移动、夹取、夹持、吸附和检查的动作，不仅提高了晶圆检查机的自动化程度，降低了人员的劳动强度，提高了晶圆检查的效率，还避免了人为操作失误对晶圆表面造成损伤的问题，减少了晶圆检查的次品率，节省了资源。

主权项：1.一种绷膜环晶圆检查机，包括检查机主体1、晶圆提篮2、工作台3、纵向移动组件4、横向移动组件5、安装座6、X轴移动组件7、Y轴移动组件8、吸附平台9、支架10、INKER标记仪11、CCD对位仪12、检查组件13和扫描仪14，其特征在于：所述检查机主体1顶部的一角与晶圆提篮2的底部固定连接，且检查机主体1的顶部与工作台3的底部固定连接，所述工作台3顶部的一侧通过支撑柱与纵向移动组件4的底部固定连接，所述纵向移动组件4顶部一侧的正上方设置有横向移动组件5，所述横向移动组件5底部的两侧通过安装座6与工作台3顶部的相邻一侧固定连接，所述工作台3顶部的中心与X轴移动组件7的底部固定连接，所述X轴移动组件7上固定安装有Y轴移动组件8，所述Y轴移动组件8上固定安装有吸附平台9；所述工作台3顶部的相邻两侧与支架10底部的两侧固定连接，所述支架10侧面中心的两侧分别固定安装INKER标记仪11和CCD对位仪12，且支架10另一侧面的中心和一侧分别固定安装有检查组件13和扫描仪14，所述检查组件13位于X轴移动组件7中段的正上方；所述纵向移动组件4由第一固定板41、纵向滑轨42、纵向移动座43、夹取机械手44、第一皮带45和第一主动带轮46组成，所述第一固定板41的底部过支撑柱与工作台3顶部的一侧固定连接，且第一固定板41顶部的两侧固定安装有纵向滑轨42，所述纵向滑轨42的中段通过滑块与纵向移动座43底部的两侧固定连接，所述纵向移动座43的顶部固定安装有夹取机械手44，且纵向移动座43底部的一侧与第一皮带45的中段固定连接，所述第一皮带45一端的内圆周与第一从动带轮的外圆周固定套接，且第一皮带45另一端的内圆周与第一主动带轮46的外圆周固定套接，所述第一主动带轮46底部的中心与纵向移动电机的输出端固定连接，且纵向移动电机的顶部与第一固定板41底部的一侧固定连接；所述横向移动组件5由第二安装板51、横向滑轨52、横向移动座53、夹持机械手54、第二皮带55、第二从动带轮56、第二主动带轮57和横向移动电机58组成，所述第二安装板51底部的两侧通过安装座6与工作台3顶部的相邻一侧固定连接，且第二安装板51正面的顶端和底端均固定安装有横向滑轨52，所述横向滑轨52的中段通过滑块与横向移动座53背面的顶端和底端固定连接，所述横向移动座53正面的顶端固定安装有夹持机械手54，且横向移动座53背面的一侧与第二皮带55的中段固定连接，所述第二皮带55一端的内圆周与第二从动带轮56的外圆周固定套接，且第二皮带55另一端的内圆周与第二主动带轮57的外圆周固定套，所述第二主动带轮57的背面的中心与横向移动电机58的输出端固定连接，所述横向移动电机58固定安装在第二安装板51背面的一侧；所述X轴移动组件7由第三安装板71、X轴移动滑轨72和X轴移动气缸73组成，所述第三安装板71的底部与工作台3顶部的中心固定连接，且第三安装板71顶部的一侧固定安装有X轴移动滑轨72，所述X轴移动滑轨72的一端与X轴移动气缸73的输出端固定连接，且X轴移动滑轨72的中段通过滑块与Y轴移动组件8底部的中心固定连接；所述Y轴移动组件8由第四安装板81、Y轴移动滑轨82和Y轴移动气缸83组成，所述第四安装板81底部的中心通过滑块与X轴移动滑轨72的中段固定连接，且第四安装板81顶部的中心固定安装有Y轴移动滑轨82，所述Y轴移动滑轨82一端与Y轴移动气缸83的输出端固定连接，且Y轴移动滑轨82的中段通过滑块与吸附平台9底部的中心固定连接；所述检查组件13由第五安装板131、升降座132、显微镜133和升降电机134组成，所述第五安装板131的侧面与支架10另一侧面的中心固定连接，且第五安装板131另一侧面的两侧固定安装有升降滑轨，所述升降滑轨的中段通过滑块与升降座132侧面的两侧固定连接，所述升降座132的顶部固定安装有显微镜133，且升降座132侧面的中心通过滚珠螺母与螺纹丝杆的中段固定连接，所述螺纹丝杆的两端通过丝杆固定座与第五安装板131另一侧面的顶端和底端固定连接，且螺纹丝杆的一端通过联轴器与升降电机134的输出端固定连接，所述升降电机134固定安装在第五安装板131顶部的中心。

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