申请/专利权人:佛山市国星半导体技术有限公司
申请日:2020-03-18
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN111312874B
主分类号:H01L33/44
分类号:H01L33/44;H01L33/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.25#授权;2020.07.14#实质审查的生效;2020.06.19#公开
摘要:本发明公开了一种抗水解LED芯片及其制作方法、抗水解LED器件,所述芯片包括衬底、设于衬底正面的发光结构、第一保护层、第二保护层和亲水层,所述第一保护层覆盖在发光结构上,所述第二保护层设置在第一保护层上;所述第一保护层和第二保护层由绝缘的透光材料制成,所述第一保护层的致密性要高于第二保护层的致密性,且所述第二保护层的折射率小于第一保护层的折射率;所述第二保护层设有若干隔离槽,所述隔离槽设置在N电极和P电极之间,以增加水解金属的迁移距离,在不影响芯片出光效率的情况下,有效提高芯片的抗水解能力。
主权项:1.一种抗水解LED芯片,其特征在于,包括衬底、设于衬底正面的发光结构、第一保护层、第二保护层和亲水层,所述第一保护层覆盖在发光结构上,所述第二保护层设置在第一保护层上;所述第一保护层和第二保护层由绝缘的透光材料制成,所述第一保护层的致密性要高于第二保护层的致密性,且所述第二保护层的折射率小于第一保护层的折射率;所述第二保护层设有若干隔离槽,所述隔离槽设置在N电极和P电极之间,以增加水解金属的迁移距离;所述亲水层设置在衬底的背面并延伸到发光结构的侧壁上,所述亲水层由具有亲水性的绝缘材料制成;所述第一保护层由Al2O3制成,所述第二保护层由SiO2或Si3N4制成;所述隔离槽的宽度为0.1~5微米,所述隔离槽之间的间隔距离为0.8~2.5微米;所述亲水层由SiO2、SiN或Si聚合物制成;所述亲水层的厚度为500~1500埃。
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