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用于分析扫描功效的方法 

申请/专利权人:FFEI公司

申请日:2021-05-26

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN115836241B

主分类号:G02B21/24

分类号:G02B21/24;G02B21/36

优先权:["20200609 GB 2008690.6"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权;2023.04.07#实质审查的生效;2023.03.21#公开

摘要:提供了一种用于操作显微镜扫描仪的方法。对包括样本的目标6上一个或多个感兴趣区域AOI执行第一成像扫描。这包括:沿着图像扫描路径相对于目标6移动检测器阵列3,并且在沿着图像扫描路径的多个位置中的每个位置处获取目标的图像。在成像扫描期间生成焦点控制数据,其中,生成焦点控制数据包括:计算在沿着图像扫描路径的每个所述位置处的焦点评价值。基于所述焦点评价值,沿图像扫描路径调整检测器阵列3的焦点高度。使用焦点控制数据分析所述第一成像扫描的功效,并且基于该分析,确定来自第一成像扫描的一个或多个扫描参数的变化,以用于执行第二成像扫描。

主权项:1.一种用于操作包括检测器阵列的显微镜扫描仪的方法,所述方法包括:执行预扫描以生成目标的预扫描图像,其中,所述目标包括样本,并且其中,所述预扫描的焦点深度超过500微米;对所述预扫描图像执行自动化图像分析,以产生指示所述样本预期存在于所述目标上的位置的第一概率图;对所述目标上的一个或多个感兴趣区域AOI执行第一成像扫描,其中,所述一个或多个AOI选自所述第一概率图,并且其中,执行所述第一成像扫描包括:沿着图像扫描路径相对于所述目标移动所述检测器阵列,并且使用所述检测器阵列在沿着所述图像扫描路径的多个位置中的每个位置处获取所述目标的图像,其中,在所述第一成像扫描期间获取的每个图像的焦点深度低于3微米;在所述成像扫描期间生成焦点控制数据,其中,生成焦点控制数据包括:计算在沿着所述图像扫描路径的每个所述位置处的焦点评价值;基于所述焦点评价值,沿所述图像扫描路径调整所述检测器阵列的焦点高度;以及将沿着所述图像扫描路径的所述多个位置中的每个位置处获取的所述目标的图像进行组合,以形成所述目标的第一图像;使用所述焦点控制数据分析所述第一成像扫描的功效,并且基于该分析确定来自所述第一成像扫描的一个或多个扫描参数的变化,以用于执行第二成像扫描。

全文数据:

权利要求:

百度查询: FFEI公司 用于分析扫描功效的方法

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