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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2019-09-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN112740110B
主分类号：G03F7/20
分类号：G03F7/20
优先权：["20180924 US 62/735,377"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2021.05.21#实质审查的生效;2021.04.30#公开
摘要：本文中所描述的是一种从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得i图案化过程的图案集合、ii具有第一特征和第二特征的搜索图案、和iii包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。
主权项：1.一种非暂时性计算机可读存储介质，所述非暂时性计算机可读介质上记录有指令，所述指令在由处理器执行时实施从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法，所述方法包括：获得i图案化过程的图案集合、ii具有第一特征和第二特征的搜索图案、和iii包括介于所述搜索图案的所述第一特征与所述第二特征之间的相对位置的第一搜索条件；和经由处理器从所述图案集合确定满足与所述搜索图案的所述第一特征和所述第二特征相关联的所述第一搜索条件的候选图案的第一集合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 从图案化过程的图案集合确定候选图案的方法
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