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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日：2020-01-20
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN113454423B
主分类号：G01C19/5776
分类号：G01C19/5776;B81B7/00
优先权：["20190221 DE 102019202326.6"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.03.11#实质审查的生效;2021.09.28#公开
摘要：本发明涉及一种用于运行电容式MEMS传感器的方法，包括步骤：在所述MEMS传感器的可偏转布置的震动质量上提供定义的电势；借助时钟控制的控制电压电容式激励所述震动质量的振动运动；通过相应于所述时钟控制的控制电压的时钟的、连接到所述震动质量上的电存储元件的有针对性的充电和或放电，补偿由所述时钟控制的控制电压决定的、在所述震动质量上所提供的电势的波动。
主权项：1.一种用于运行电容式MEMS传感器1的方法，所述方法包括步骤：-在所述MEMS传感器1的可偏转地布置的震动质量5a上提供S1定义的电势；-借助时钟控制的控制电压10，11电容式地激励S2所述震动质量5a的振动运动；-通过相应于所述时钟控制的控制电压10，11的时钟对连接到所述震动质量5a上的电存储元件3a进行有针对性的充电和或放电，补偿S5由所述时钟控制的控制电压10，11决定的、在所述震动质量5a上所提供的电势的波动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于运行电容式MEMS传感器的方法和电容式MEMS传感器
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