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申请/专利权人：日本碍子株式会社
申请日：2020-12-08
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN114761792B
主分类号：G01N27/416
分类号：G01N27/416;G01N27/41;G01N27/419
优先权：["20191217 JP 2019-227572"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2022.08.02#实质审查的生效;2022.07.15#公开
摘要：传感器元件在自元件基体的一个端部起算为规定范围的外周部具备末端保护层，该元件基体在该一个端部设置有气体导入口，且被测定气体经过气体导入口而向内部导入，末端保护层具有内侧末端保护层和外侧末端保护层层叠而成的结构，该内侧末端保护层在以分别设置有气孔径为10nm以上且小于1μm的细孔的多孔质单片构成骨架结构的基质区域内存在1μm以上的尺寸的粗大空隙，该外侧末端保护层设置成将内侧末端保护层覆盖，且气孔率小于内侧末端保护层的气孔率，内侧末端保护层中，整体气孔率为40％以上90％以下，粗大空隙率为1％以上55％以下。
主权项：1.一种传感器元件，其是气体传感器的传感器元件，所述传感器元件的特征在于，具备：元件基体，该元件基体为在一个端部设置有气体导入口且在内部具有沿着长度方向与所述气体导入口连通的气体流通部的陶瓷结构体，包含测定对象气体成分的被测定气体经过所述气体导入口而向所述气体流通部导入，所述测定对象气体成分通过在所述气体流通部内所设置的监测部而被监测；以及末端保护层，该末端保护层设置于自所述元件基体的所述一个端部起算为规定范围的外周部，所述末端保护层具有内侧末端保护层和外侧末端保护层层叠而成的结构，该内侧末端保护层在以分别设置有气孔径为10nm以上且小于1μm的细孔的多孔质单片构成骨架结构的基质区域内存在1μm以上的尺寸的粗大空隙，该外侧末端保护层设置成将所述内侧末端保护层覆盖，且气孔率小于所述内侧末端保护层的气孔率，所述内侧末端保护层中，整体气孔率为40％以上90％以下，与所述粗大空隙的气孔率相当的粗大空隙率为1％以上55％以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本碍子株式会社 气体传感器的传感器元件及朝向传感器元件的保护层形成方法
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