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承载组件及真空测试设备 

申请/专利权人:建研院检测中心有限公司

申请日:2023-09-12

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN221224486U

主分类号:G01N5/02

分类号:G01N5/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.25#授权

摘要:本公开的实施例提供了一种承载组件及真空测试设备,真空测试设备包括壳体、密封件、真空组件和承载组件。壳体具有储液腔、第一开口和第二开口;第一开口和第二开口均与储液腔连通;壳体为柔性结构。密封件用于打开或密封第一开口。真空组件与第二开口连通,且用于抽取储液腔内的空气。承载组件能够通过第一开口位于储液腔内;承载组件具有至少三个样品放置槽,且相邻两个样品放置槽隔开,阻止样品在负压下相互吸附;样品放置槽具有第一槽壁,第一槽壁用于被阻止样品沿重力方向的反方向上浮。

主权项:1.一种真空测试设备,其特征在于,包括:壳体,具有储液腔、第一开口和第二开口;所述第一开口和第二开口均与所述储液腔连通;所述壳体为柔性结构;密封件,用于打开或密封所述第一开口;真空组件,与所述第二开口连通,且用于抽取所述储液腔内的空气;承载组件,能够通过所述第一开口位于所述储液腔内;所述承载组件具有至少三个样品放置槽,且相邻两个所述样品放置槽隔开,阻止样品在负压下相互吸附;所述样品放置槽具有第一槽壁,所述第一槽壁用于被阻止样品沿重力方向的反方向上浮。

全文数据:

权利要求:

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