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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
申请日：2023-09-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221224915U
主分类号：G01R31/26
分类号：G01R31/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种WAT测试机和WAT测试系统，适用于晶圆测试技术领域。包括多级联FPGA和至少两个源表，多级联FPGA包括首级FPGA和下一级FPGA；上位机与首级FPGA连接；首级FPGA连接下一级FPGA，其中，下一级FPGA的同级联内的FPGA数量为多个，且下一级FPGA至少为一个级联；各下一级FPGA分别对应连接源表。该装置通过多级联FPGA的首级FPGA连接下一级FPGA的方式，下一级FPGA与对应连接各源表，以进行并行的连接，可以进行并行的同步测试，节省测试过程需要的时间，提高测试效率，提升晶圆测试的产能。
主权项：1.一种WAT测试机，其特征在于，包括多级联FPGA和至少两个源表4，所述多级联FPGA包括首级FPGA2和下一级FPGA3；上位机1与所述首级FPGA2连接；所述首级FPGA2连接下一级FPGA3，其中，所述下一级FPGA3的同级联内的FPGA数量为多个，且所述下一级FPGA3至少为一个级联；各所述下一级FPGA3分别对应连接所述源表4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种WAT测试机和WAT测试系统
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