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申请/专利权人：浙江微针半导体有限公司
申请日：2023-11-24
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221224785U
主分类号：G01R1/02
分类号：G01R1/02;G01R1/067
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种具有滚珠结构的浮动环组件，包括底座和浮动环，浮动环置于底座内，可相对底座移动；所述底座中间设有定位柱，浮动环活动套装在定位柱上；所述底座上设有多道纵向设置的第一滚珠滑道，并延伸至定位柱外侧，浮动环内侧面设有多道第二滚珠滑道，滚珠置于第一滚珠滑道内，且与第二滚珠滑道滑动配合；所述浮动环底部向外延伸出一圈环形面，环形面上设有若干均匀分布的导流槽。本实用新型在底座与浮动环之间增加滚珠结构，既可以减少摩擦，也可以保证浮动环平稳升降，降低浮动环的振动，使得晶圆测试更加准确。
主权项：1.一种具有滚珠结构的浮动环组件，包括底座和浮动环，浮动环置于底座内，可相对底座移动；所述底座中间设有定位柱，浮动环活动套装在定位柱上；其特征在于：所述底座上设有多道纵向设置的第一滚珠滑道，并延伸至定位柱外侧，浮动环内侧面设有多道第二滚珠滑道，滚珠置于第一滚珠滑道内，且与第二滚珠滑道滑动配合；所述浮动环底部向外延伸出一圈环形面，环形面上设有若干均匀分布的导流槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江微针半导体有限公司 一种具有滚珠结构的浮动环组件
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