申请/专利权人:东莞新科技术研究开发有限公司
申请日:2022-12-27
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118256883A
主分类号:C23C14/35
分类号:C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/58
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本发明硬盘零配件的加工方法,包括:在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗;对所述真空腔室进行抽真空,接通负电压,在所述真空腔室内产生辉光发电,通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层;以及对所述硬盘零配件进行清洗。本发明在硬盘零配件的表面上形成类金刚石碳层,使硬盘零配件的表面硬度增大,防止金属屑掉落,从而延长零配件的使用寿命以及提高硬盘的性能。
主权项:1.一种硬盘零配件的加工方法,其特征在于,包括:在真空腔室内利用射频磁控溅射仪对硬盘零配件的表面进行预清洗;对所述真空腔室进行抽真空,接通负电压,在所述真空腔室内产生辉光发电,通过离子溅射在所述硬盘零配件的表面上沉积类金刚石碳层;以及对所述硬盘零配件进行清洗。
全文数据:
权利要求:
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