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申请/专利权人：东莞市华越半导体技术股份有限公司
申请日：2022-12-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263146A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/60;F16F15/067
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明公开了一种减小固晶机摆臂振动的方法，所述减小固晶机摆臂振动的方法具体步骤如下：S1：通过在摆臂顶部与底部的转轴内分别设置第一卡簧与第二卡簧；本申请通过提供了一种减小固晶机摆臂振动的方法，第一卡簧与第二卡簧分别对摆臂的正反摆动进行稳定，减小摆臂产生的震动，同时在摆动的过程中在惯性的作用下，使得稳定块进行滑动于摆臂另一端的内部，同时稳定块在滑动的过程中将对一侧的阻尼器进行挤压，另一侧的阻尼器将被拉伸，通过稳定块与两个阻尼器相配合实现减少摆臂摆动过程中的震动，增加摆臂摆动的稳定性，通过稳定块、阻尼器与第一卡簧、第二卡簧使得摆臂摆动过程中更加稳定，减小摆臂摆动过程中震动。
主权项：1.一种减小固晶机摆臂振动的方法，其特征在于：所述减小固晶机摆臂振动的方法具体步骤如下：S1、通过在摆臂顶部与底部的转轴内分别设置第一卡簧与第二卡簧；S11、固晶机在工作过程中通过电机带动摆臂进行摆动，摆臂在摆动的过程中，摆臂将对顶部转轴内部的第一卡簧进行压缩；S12、第一卡簧在压缩的过程中，将会使摆臂在摆动的过程中减少摆动应力；S13、同时摆臂在反向摆动时，将对底部转轴内第二卡簧进行压缩；S14、第二卡簧在压缩的过程中，使摆臂在反向摆动的过程中减少反向摆动应力；S2、同时在摆臂一端的内部设置有减震阻尼器；S21、在摆臂摆动的过程中，摆臂的另一端将反向摆动，在惯性的作用下稳定块将对一侧的阻尼器进行挤压，另一侧的阻尼器将被拉伸；S22、在摆臂反向摆动时，稳定块将对另一侧的阻尼器进行挤压，通过稳定块的摆动与阻尼器配合，对摆臂摆动的应力进行抵消。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市华越半导体技术股份有限公司 一种减小固晶机摆臂振动的方法
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