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申请/专利权人：深圳晶源信息技术有限公司
申请日：2024-04-09
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118261111A
主分类号：G06F30/398
分类号：G06F30/398
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及版图检测技术领域，特别涉及一种版图检查方法、系统、设备及存储介质。所述方法包括对待测版图进行分割处理，得到分割版图；获取分割版图上多个待测图形的图形信息；建立图形库，图形库中的图形包括掩模制造规则检查结果，基于图形信息检测图形库中是否存在与待测图形具有对称性的对称图形；若图形库中存在与待测图形具有对称性的对称图形，则调用对称图形的掩模制造规则检查结果应用到对应的待测图形，反之，则对待测图形进行掩模制造规则检查。本发明通过将对称图形的掩模制造规则检查结果直接调用到待测图形上，从而减少掩模制造规则检查的运行时间，提高其整体检查效率。
主权项：1.一种版图检查方法，其特征在于，包括：对待测版图进行分割处理，得到分割版图；获取所述分割版图上多个待测图形的图形信息；建立图形库，所述图形库中的图形包括对应的掩模制造规则检查结果，基于所述图形信息检测所述图形库中是否存在与所述待测图形具有对称性的对称图形；若所述图形库中存在与所述待测图形具有对称性的对称图形，则调用所述对称图形的掩模制造规则检查结果应用到对应的所述待测图形，反之，则对所述待测图形进行掩模制造规则检查。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳晶源信息技术有限公司 一种版图检查方法、系统、设备及存储介质
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