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申请/专利权人：细美事有限公司
申请日：2023-05-23
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118253147A
主分类号：B01D46/42
分类号：B01D46/42;B01D46/10;B01D46/00;H01L21/67
优先权：["20221227 KR 10-2022-0186275"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本揭示提供一种碗状件、一种基板处理设备和一种制造碗状件的方法。所述碗状件包括具有连接回收管路的回收孔的主体部、从所述主体部的上部向上延伸然后沿横向方向延伸的导引部、以及跨越所述主体部的内部和所述导引部的内部安装的连接框架。
主权项：1.一种碗状件，包括：主体部，具有连接回收管路的回收孔；导引部，从所述主体部的上部向上延伸，然后沿横向方向延伸；以及连接框架，跨越所述主体部的内部和所述导引部的内部安装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 碗状件、基板处理设备和制造碗状件的方法
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