申请/专利权人：江苏新智达新能源设备有限公司

申请日：2019-12-16

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN110890298B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2020.04.10#实质审查的生效;2020.03.17#公开

摘要：本发明提供了一种高效双头固晶装置，包括扩晶盘和工作台，所述高效双头固晶装置还包括甩臂、输送轨、收料机构和甩臂驱动机构，所述工作台通过工作台调节机构滑动安装在所述输送轨上，所述甩臂驱动机构可以驱动所述甩臂在扩晶盘和工作台之间移动，并将所述晶圆蓝膜上的晶圆取出并安装到所述石墨盘中的料片上，通过将工作台滑动设置在输送轨上，可以高效的进行取晶、固晶和收料工作，并且取晶和固晶的位置精度较高，通过转台带动两个甩臂转动，第一甩臂进行固晶操作的同时，第二甩臂进行取晶操作，进一步提高了生产效率，降低了生产成本，同时偏心轮和支撑轴的竖直调节机构产生的噪音较小，避免了噪音过大对作业员造成身心健康造成损害。

主权项：1.一种高效双头固晶装置，包括扩晶盘（1），用于放置待封装的晶元蓝膜；工作台（2），用于放置石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片；其特征在于：所述高效双头固晶装置还包括甩臂、输送轨（3）、收料机构和甩臂驱动机构，所述输送轨（3）设置在固定的底板（4）上，所述工作台（2）通过工作台调节机构滑动安装在所述输送轨（3）上，所述甩臂驱动机构可以驱动所述甩臂在扩晶盘（1）和工作台（2）之间移动，并将所述晶元蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘中的料片上，所述收料机构设置在所述底板（4）上，用于将封装完毕的石墨盘从工作台（2）上取出；所述甩臂的数量为二个，二个所述甩臂分别为第一甩臂（5）和第二甩臂（6），所述甩臂驱动机构包括转台（7）和第一驱动电机（8），所述第一甩臂（5）和所述第二甩臂（6）对称设置在所述转台（7）的左右两侧，所述第一驱动电机（8）设置在固定的机架（9）上，所述第一驱动电机（8）的输出轴与所述转台（7）固定连接并可驱动所述转台（7）转动以在旋转方向调节所述第一甩臂（5）和所述第二甩臂（6）的位置，所述甩臂驱动机构还包括第一竖直调节单元和第二竖直调节单元，所述第一甩臂（5）通过所述第一竖直调节单元活动设置在所述转台（7）上，所述第一竖直调节单元可驱动所述第一甩臂（5）沿竖直方向移动，所述第二甩臂（6）通过所述第二竖直调节单元活动设置在所述转台（7）上，所述第二竖直调节单元可驱动所述第二甩臂（6）沿竖直方向移动；所述第一竖直调节单元包括支撑轴（10）、第一连接杆（11）、第一导轨（12）和第一滑块（13），所述第一导轨（12）沿竖直方向设置在所述转台（7）上，所述第一滑块（13）滑动设置在所述第一导轨（12）上，并与所述第一甩臂（5）固定连接，所述支撑轴（10）沿竖直方向活动安装在所述转台（7）上，所述支撑轴（10）的底部与所述第一连接杆（11）的一端转动连接，所述第一连接杆（11）的另一端与所述第一滑块（13）固定连接，所述支撑轴（10）上下移动能够带动所述第一甩臂（5）上下移动；所述第一竖直调节单元还包括第二连接杆（14）、第一曲柄（15）、第一偏心轮（16）和第二驱动电机（17），所述第二驱动电机（17）固定设置在所述机架（9）上，所述第二驱动电机（17）的输出轴与所述第一偏心轮（16）固定连接，所述第一曲柄（15）的一端与所述第一偏心轮（16）相铰接，所述第一曲柄（15）的另一端与所述第二连接杆（14）的一端相铰接，所述第二连接杆（14）的另一端与所述支撑轴（10）的顶部转动连接，所述第一偏心轮（16）在所述第二驱动电机（17）的驱动下转动能够带动所述支撑轴（10）上下移动；所述工作台调节机构包括第二直线电机（40）和第三直线电机（41），所述第二直线电机（40）设置在所述输送轨（3）上并能沿所述输送轨（3）水平移动，所述第三直线电机（41）的滑轨沿水平方向固定设置在所述第二直线电机（40）的动子座上，并垂直于所述输送轨（3）设置，所述第三直线电机（41）的动子座上端固定连接所述工作台（2）。

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百度查询： 江苏新智达新能源设备有限公司 一种高效双头固晶装置

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