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申请/专利权人：西安电子科技大学
申请日：2021-07-30
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN113554636B
主分类号：G06T7/00
分类号：G06T7/00;G06V10/764;G06V10/774;G06V10/82;G06T7/49;G06N3/045;G06N3/0475;G06N3/094
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2021.11.12#实质审查的生效;2021.10.26#公开
摘要：本发明适用于芯片缺陷检测技术领域，提供了一种基于生成对抗网络和计算全息的芯片缺陷检测方法，包括以下步骤：采集无缺陷芯片的物光波振幅与相位信息，对所得数据进行处理得到条纹排序图，然后经过灰度值编码形成灰度计算全息图；将所述灰度计算全息图加载在空间光调制器内并放置在符合设定要求的光路中，通过光衍射作用生成动态的重建全息投影图像；以灰度计算全息图训练GAN网络；将待测芯片灰度计算全息图输入至训练好的GAN网络，输出检测结果，本发明的有益效果是：解决了微型化芯片3D建模和成像问题，而且降低光学过程中的环境因素影响和实际成本，芯片检测具有较快的检测速度。
主权项：1.一种基于生成对抗网络和计算全息的芯片缺陷检测方法，其特征在于，包括以下步骤：采集无缺陷芯片的物光波振幅与相位信息，对所得数据进行处理得到条纹排序图集，然后经过灰度值编码形成灰度计算全息图集；将所述灰度计算全息图集加载在空间光调制器内并放置在符合设定要求的光路中，通过光衍射作用生成动态的重建全息投影图像集，验证芯片管脚和表面区域位置在重建全息投影图像与灰度计算全息图中是否对应；当芯片管脚和表面区域位置在重建全息投影图像与灰度计算全息图中为对应时，以灰度计算全息图集训练GAN网络；将待测芯片灰度计算全息图输入至训练好的GAN网络，输出检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种基于生成对抗网络和计算全息的芯片缺陷检测方法
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