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申请/专利权人：易维软件科技无锡有限公司
申请日：2023-09-25
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221230539U
主分类号：B01J19/00
分类号：B01J19/00;B01J7/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型公开了一种半导体用方便清洁的特殊气体反应装置，涉及气体反应装置技术领域，包括反应管主体，所述反应管主体的内侧固定连接有连接管，所述反应管主体的外侧活动连接有管盖，所述管盖的中间活动连接有连接板，所述连接板的中间固定连接有入气管，所述入气管与外界的注气管道连接，所述反应管主体的另一侧设置有与入气管结构相同的出气口，所述入气管的侧端与连接管活动连接，所述反应管主体的底部固定连接有底座。本实用新型通过连接板、螺纹环、限位孔、内置螺纹和限位杆的共同配合，通过限位孔和限位杆保持管盖与反应管主体的竖直连接，从而避免管盖偏斜安装导致反应管主体的密闭性降低。
主权项：1.一种半导体用方便清洁的特殊气体反应装置，包括反应管主体1，其特征在于：所述反应管主体1的内侧固定连接有连接管13，所述反应管主体1的外侧活动连接有管盖2，所述管盖2的中间活动连接有连接板7，所述连接板7的中间固定连接有入气管4，所述入气管4与外界的注气管道连接，所述反应管主体1的另一侧设置有与入气管4结构相同的出气口，所述入气管4的侧端与连接管13活动连接，所述反应管主体1的底部固定连接有底座3，所述连接板7的侧壁开设有限位孔9，所述反应管主体1的内壁设置有防尘壳，所述防尘壳的侧面固定连接有限位杆11，所述限位孔9与限位杆11的位置和尺寸相同，所述反应管主体1的内壁开设有内置螺纹10，所述管盖2的侧面固定连接有螺纹环8，所述螺纹环8与内置螺纹10啮合连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 易维软件科技无锡有限公司 一种半导体用方便清洁的特殊气体反应装置
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