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申请/专利权人：上海格意光电材料有限公司
申请日：2023-11-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN221237220U
主分类号：F16K11/087
分类号：F16K11/087
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权
摘要：本实用新型属于半导体技术领域，尤其为一种半导体加工用分流阀门，包括进水口，还包括设置在进水口一侧的分流组件，所述分流组件包括导流壳、导流仓，本装置通过分流组件的工作能够在对两个出水口所涵盖的四种不同的分流状态之间进行灵活的切换，具体为使两个出水口同时进行分流或者封闭状态，还可以在同一时间使左右两侧的出水口呈疏通以及封闭状态，反之亦然，极大程度上提升了分流工作的灵活性以及便捷性，能够根据两个出水口所导向位置的不同供求关系来通过球阀以及分流腔进行合理的分流工作，且操作方便，而在固定组件的工作下，可以使导流壳和球阀之间的角度得到固定，有利于分流工作的稳定。
主权项：1.一种半导体加工用分流阀门，包括进水口1，其特征在于：还包括设置在进水口1一侧的分流组件2，所述分流组件2包括导流壳21、导流仓22、球阀23、分流腔24、调节阀25和出水口26，所述进水口1的一端固定安装在所述导流壳21的表面，且所述导流壳21的内表面还开设有和所述球阀23的表面旋转连接的所述导流仓22，并且所述球阀23的内表面还开设有所述分流腔24，同时所述球阀23远离所述进水口1的一侧表面还固定安装有贯穿所述导流壳21并延伸至所述导流壳21外侧的所述调节阀25，所述导流壳21的表面还对称安装有两个所述出水口26，且空心状的所述出水口26和所述导流仓22所在的空间相联通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海格意光电材料有限公司 一种半导体加工用分流阀门
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