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传感器元件和气体传感器 

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申请/专利权人:日本特殊陶业株式会社

摘要:本发明提供抑制了与电极连接的基准引线部的空孔所引起的气体传感器的特性的变动的传感器元件和气体传感器。传感器元件100具备检测电极106a和基准电极104a、以及与检测电极和基准电极分别连接的1对引线部,利用检测电极和基准电极对被测量气体中的对象成分进行测量,其中,1对引线部中的与基准电极连接的基准引线部104b构成为包含从Pt、Pd、Rh和Au的组中选择出的一种以上的贵金属颗粒151、圆当量直径比贵金属颗粒的圆当量直径大的陶瓷颗粒153、以及空孔G1、G2,在观察基准引线部的与长度方向交叉的截面时,满足如下这样的关系:引线部膜厚t<陶瓷颗粒的最大粒径M×3<引线部宽度W。

主权项:1.一种传感器元件,其具备与被测量气体接触的检测电极和与基准气体接触的基准电极、以及与所述检测电极和所述基准电极分别连接的1对引线部,利用所述检测电极和所述基准电极对被测量气体中的对象成分进行测量,其特征在于,所述1对引线部中的与所述基准电极连接的基准引线部构成为包含从Pt、Pd、Rh和Au的组中选择出的一种以上的贵金属颗粒、圆当量直径比所述贵金属颗粒的圆当量直径大的陶瓷颗粒、以及空孔,在观察所述基准引线部的与长度方向交叉的截面时,满足如下这样的关系:引线部膜厚t<所述陶瓷颗粒的最大粒径M×3<引线部宽度W。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本特殊陶业株式会社 传感器元件和气体传感器

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