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申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：本申请的各个实施例针对包括波长可调窄带滤色器的图像传感器以及用于形成图像传感器的方法。在一些实施例中，图像传感器包括衬底、第一光电探测器、第二光电探测器和滤色器。第一光电探测器和第二光电探测器相邻地位于衬底中。滤色器位于第一光电探测器和第二光电探测器上面，并且包括第一分布式布拉格反射器DBR、第二DBR以及位于第一DBR和第二DBR之间的中间层。中间层的厚度在第一光电探测器上面具有第一厚度值并且在第二光电探测器上面具有第二厚度值。在一些实施例中，滤色器限于单个中间层。在其它实施例中，滤色器还包括第二中间层，第二中间层限定嵌入第一中间层中的柱状结构并且具有与第一中间层不同的折射率。
主权项：1.一种图像传感器，包括：衬底；第一光电探测器和第二光电探测器，相邻地位于所述衬底中；以及滤色器，位于所述第一光电探测器和所述第二光电探测器上面，其中，所述滤色器包括：第一分布式布拉格反射器DBR；第二分布式布拉格反射器；和中间层，位于所述第一分布式布拉格反射器和所述第二分布式布拉格反射器之间，其中，所述中间层的厚度在所述第一光电探测器上面具有第一厚度值并且在所述第二光电探测器上面具有第二厚度值，其中，所述滤色器还包括：多个柱状结构，所述多个柱状结构延伸穿过所述中间层并且位于所述第一光电探测器和所述第二光电探测器上面，其中，所述柱状结构的厚度在所述第一光电探测器和所述第二光电探测器上变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 图像传感器和用于形成图像传感器的方法
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