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申请/专利权人：中材新材料研究院(广州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高良品率低成本的离子减薄载样台，属于离子减薄仪技术领域，该高良品率低成本的离子减薄载样台包括导向柱，导向柱上端一体化固定有底座，所述底座远离导向柱端固定有T型柱，T型柱关于底座对称设置有两个，每个T型柱上设置有凹槽，两个凹槽组成样品台面，所述底座中部设有透光孔，透光孔沿导向柱贯穿；本实用新型将传统的样品夹片式载样台改进为样品放置式结构，结构简单，成本降低，安装更加便捷，且此基础上底座尺寸明显减小，有效减少对离子速干扰，提高样品良品率。
主权项：1.一种高良品率低成本的离子减薄载样台，包括导向柱1，导向柱1上端一体化固定有底座2，其特征在于，所述底座2远离导向柱1端固定有T型柱3，T型柱3关于底座2对称设置有两个，每个T型柱3上设置有凹槽4，两个凹槽4组成样品台面，所述底座2中部设有透光孔5，透光孔5沿导向柱1贯穿。
全文数据：
权利要求：
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