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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司

摘要：本发明公开了一种纳米压印晶圆良品率检测设备及方法，涉及纳米压印技术领域，本发明包括工作仓，所述工作仓的内部顶部固定安装有液压缸，所述液压缸的底部固定连接有上模板，所述上模板的底部固定安装有软模具，本发明通过角度变换机构的设置，使得开启电机A带动螺纹杆转动，螺纹杆转动使得移动块带动检测探头移动对底部基片进行检测时，而移动块向左移动到最左端时会使得挤压板带动压板向左移动，此时通过液压仓、齿牙条、弧形齿牙等组件的配合会带动角度齿轮转动一定角度，角度齿轮转动带动转轴以及转动盘转动一定角度，转动盘转动一定角度使得其上的基片角度发生变化，当检测探头经过时可以对其再次进行检测，防止出现检测死角。

主权项：1.一种纳米压印晶圆良品率检测设备，包括工作仓（1），其特征在于：所述工作仓（1）的内部顶部固定安装有液压缸（2），所述液压缸（2）的底部固定连接有上模板（3），所述上模板（3）的底部固定安装有软模具（4），所述工作仓（1）的内部底部固定连接有固定座（5）和支撑座（16），所述固定座（5）的顶部设置有电加热板（6），所述电加热板（6）的顶部固定连接有放置板（7），所述放置板（7）的顶部设置有基片（8），所述固定座（5）的内部设置有吸气泵A（9），所述吸气泵A（9）的顶部设置有吸气管A（10），所述工作仓（1）的内部顶部固定连接有固定仓（11），所述固定仓（11）的侧面固定安装有电机A（12），所述固定仓（11）的内部转动连接有螺纹杆（13），所述电机A（12）通过其输出轴与螺纹杆（13）固定连接，所述固定仓（11）的内部滑动连接有移动块（14），所述移动块（14）通过内置螺纹与螺纹杆（13）螺纹连接，所述移动块（14）的底部设置有检测探头（15），所述支撑座（16）的内部设置有角度变换机构（17），所述工作仓（1）的内部底部设置有吸附运输机构（18），所述工作仓（1）的内部后端设置有吹风机构（19）；所述角度变换机构（17）包括转动盘（171）、液压仓（174）和挤压板（1713），所述转动盘（171）转动连接在支撑座（16）的内部，所述转动盘（171）的底部固定连接有转轴（172），所述转轴（172）的底部固定连接有角度齿轮（173），所述液压仓（174）贯穿且固定连接在支撑座（16）的后端，所述液压仓（174）的一端内部活塞滑动连接有压杆（175），所述压杆（175）远离液压仓（174）的一端固定连接有压板（176），所述压杆（175）的表面套接有复位弹簧（177），所述液压仓（174）的另一端内部活塞滑动连接有推杆（178），所述推杆（178）远离液压仓（174）的一端固定连接有齿牙条（179），所述齿牙条（179）的侧面开设有凹槽（1710），所述凹槽（1710）的内部设置有伸缩弹簧（1711），所述凹槽（1710）的内部通过伸缩弹簧（1711）滑动连接有弧形齿牙（1712），所述挤压板（1713）固定连接在移动块（14）的后端；所述压板（176）位于挤压板（1713）的位移轨迹上，所述复位弹簧（177）的两端初始状态下与压板（176）以及液压仓（174）相抵触；所述弧形齿牙（1712）的弧面朝向后端，且所述凹槽（1710）的深度大于弧形齿牙（1712）的长度；使用时：开启电机A（12）可以带动螺纹杆（13）正转或反转，螺纹杆（13）正转或反转可以使得移动块（14）左右来回移动，移动块（14）来回移动带动检测探头（15）来回移动对底部的基片（8）进行检测，而移动块（14）移动到最左端时会带动挤压板（1713）与压板（176）接触带动压板（176）向左移动，压板（176）向左移动带动压杆（175）向左移动，复位弹簧（177）逐渐绷紧，压杆（175）向左移动会通过液压仓（174）内液压带动推杆（178）向前端移动，推杆（178）向前端移动会带动齿牙条（179）向前端移动，此时弧形齿牙（1712）的直面会与角度齿轮（173）上齿牙接触从而带动角度齿轮（173）转动，角度齿轮（173）转动带动转轴（172）以及转动盘（171）转动，转动盘（171）转动带动其上的基片（8）角度发生变化，移动块（14）向右移动时检测探头（15）会再次对基片（8）进行检测，而复位弹簧（177）回弹带动压板（176）以及压杆（175）还原，压杆（175）还原通过液压仓（174）内液压带动齿牙条（179）向后端移动还原，此时弧形齿牙（1712）的弧面与角度齿轮（173）的齿牙接触，而转动盘（171）与支撑座（16）之间摩擦力大于伸缩弹簧（1711）的弹力，此时弧形齿牙（1712）的弧面与角度齿轮（173）接触不会带动角度齿轮（173）转动，弧形齿牙（1712）弧面受到挤压缩入凹槽（1710）内，随后伸缩弹簧（1711）带动弹出，此时角度齿轮（173）不会发生转动使得基片（8）角度还原，通过每次移动块（14）带动检测探头（15）移动一个来回都会使得转动盘（171）以及其上的基片（8）转动，使得基片（8）角度产生变化，防止出现检测死角。

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