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申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

摘要：本申请涉及一种XYθ定位装置及其控制方法，XYθ定位装置包括底座、载板、线性运动系统和第一导向系统；载板可气浮支撑地设置在底座上；线性运动系统包括沿第一方向设置在载板上的至少两组线性运动组件以及沿第二方向设置在载板上的至少一组线性运动组件，第一方向与第二方向垂直，其中，线性运动组件的动子部分连接于载板，线性运动组件的定子部分通过第一导向系统设置在底座上；线性运动系统能够带动载板相对于底座实现平面移动或转动；在第一导向系统的作用下，当载板平面移动时，沿移动方向设置的线性运动组件的定子部分相对于底座静止，当载板平面转动时，线性运动组件的定子部分相对于底座转动，从而使线性运动组件跟随载板转动。

主权项：1.一种XYθ定位装置，其特征在于，包括：底座（110）、载板（120）、线性运动系统（130）和第一导向系统（140）；所述载板（120）可气浮支撑地设置在所述底座（110）上；所述线性运动系统（130）包括沿第一方向设置在所述载板（120）上的至少两组线性运动组件（131）以及沿第二方向设置在所述载板（120）上的至少一组线性运动组件（131），所述第一方向与所述第二方向垂直，其中，所述线性运动组件（131）的动子部分连接于载板（120），所述线性运动组件（131）的定子部分通过所述第一导向系统（140）设置在所述底座（110）上；所述线性运动系统（130）能够带动所述载板（120）相对于所述底座（110）实现平面移动或转动；在所述第一导向系统（140）的作用下，当所述载板（120）平面移动时，沿移动方向设置的线性运动组件（131）的定子部分相对于所述底座（110）静止，当所述载板（120）平面转动时，线性运动组件（131）的定子部分相对于所述底座（110）转动，从而使线性运动组件（131）跟随所述载板（120）转动；所述定位装置（100）还包括与每组线性运动组件（131）对应的第二导向系统（1314）；所述第二导向系统（1314）设置于所述线性运动组件（131）的定子部分和所述载板（120）之间；所述第二导向系统（1314）包括：线性导向件（13141）和配合设置于线性导向件（13141）上的滑动件（13142）；其中，所述线性导向件（13141）或滑动件（13142）的其中一者与载板（120）连接，所述线性导向件（13141）或滑动件（13142）的另一者与线性运动组件（131）的定子部分连接。

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