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基板处理装置 

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申请/专利权人:东京毅力科创株式会社

摘要:本发明提供基板处理装置。不给旋转台的旋转带来不良影响就能进行相对于与旋转台一起旋转的电气部件的供电、信号的收发等。具备:旋转台,保持基板并使它旋转;电气部件,设于旋转台并与它一起旋转;第1电极部,设于旋转台并与它一起旋转,第1电极部包括多个第1电极,多个第1电极经由多个第1导电线与电气部件电连接,并以分布于旋转轴线的周围的方式配置;电气设备,进行相对于电气部件的供电、信号的收发等;第2电极部,包括多个第2电极,多个第2电极经由多个第2导电线与电气设备电连接,并设置于分别能够与多个第1电极接触的位置;和电极移动机构,使第1电极部和第2电极部沿着旋转轴线的方向相对移动,而使上述电极部接触、分离。

主权项:1.一种基板处理装置,其中,该基板处理装置具备:旋转台,其用于保持基板;旋转驱动机构,其用于使所述旋转台绕旋转轴线旋转;电气部件,其设置于所述旋转台,并且,与所述旋转台一起旋转;第1电极部,其设置于所述旋转台,并且,与所述旋转台一起旋转,所述第1电极部包括多个第1电极,该多个第1电极经由多个第1导电线与所述电气部件电连接,并且,以分布于所述旋转轴线的周围的方式配置;电气设备,其用于进行向所述电气部件的供电、控制信号向所述电气部件的发送以及检测信号从所述电气部件的接收中的至少一者;第2电极部,其包括多个第2电极,该多个第2电极经由多个第2导电线与所述电气设备电连接,并且,其设置于分别能够与所述多个第1电极接触的位置;以及电极移动机构,其使所述第1电极部和所述第2电极部沿着所述旋转轴线的方向相对移动,而使所述第1电极部和所述第2电极部接触、分离,其中,所述多个第1电极被分割成第1电极组和第2电极组,在所述旋转轴线的方向上,所述第1电极组的位置与所述第2电极组的位置不同。

全文数据:

权利要求:

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