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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明的目的在于提供一种能够合适地搬运基板的基板处理装置以及基板搬运方法。本发明涉及一种基板处理装置1以及基板搬运方法。手部61具有基座部65、吸引部68、第一接受部82、第二接受部83以及接受部驱动部86。吸引部68安装于基座部65。吸引部使气体沿基板W的上表面16流动，以不与基板接触的方式将基板向上方吸引。第一接受部以及第二接受部被基座部支撑。第一接受部以及第二接受部配置在被吸引部吸引的基板的下方。第一接受部以及第二接受部能够接受基板的下表面。接受部驱动部使第二接受部相对于基座部移动。接受部驱动部使第二接受部接近第一接受部，并且使第二接受部与第一接受部远离。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，所述基板处理装置具有搬运基板的第一搬运机构，所述第一搬运机构具有手部和使所述手部移动的手部驱动部，所述手部具有：基座部；吸引部，安装于所述基座部，使气体沿基板的上表面流动，以不与基板接触的方式将基板向上方吸引；第一接受部，被所述基座部支撑，不与被所述吸引部吸引的基板接触而配置在被所述吸引部吸引的基板的下方，能够接受基板的下表面以及基板的端缘中的至少任一个；第二接受部，被所述基座部支撑，不与被所述吸引部吸引的基板接触而配置在被所述吸引部吸引的基板的下方，能够接受基板的所述下表面以及基板的所述端缘中的至少任一个；以及接受部驱动部，通过使所述第二接受部相对于所述基座部移动，使所述第二接受部接近所述第一接受部，并且使所述第二接受部与所述第一接受部远离，所述第一接受部和所述第二接受部允许基板相对于所述第一接受部和所述第二接受部向上方移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置以及基板搬运方法
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