龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳无限光能技术有限公司
摘要：本申请涉及一种高效臭氧清洗装置及玻璃基板蒸镀设备，高效臭氧清洗装置包括第一传送组件、臭氧发生组件、真空组件、扩散组件和尾气处理组件；尾气处理组件通过真空泵组与真空腔室连接，扩散组件设置在真空腔室内并位于第一传送组件的正上方，臭氧发生组件与扩散组件通过管道连接；扩散组件包括中空板体和分布在中空板体一板面上的若干气孔。本实用新型提供的高效臭氧清洗装置采用真空腔室进行臭氧清洗处理，使臭氧气体直接作用于玻璃基板的表面，与其表面有机污染物发生氧化还原反应，生成挥发性气体，再直接通过真空泵组排出，保持真空腔室基板表面的高臭氧浓度，确保玻璃基本的洁净度，在真空环境下，臭氧气体扩散速率快，处理效果好。
主权项：1.一种高效臭氧清洗装置，其特征在于，包括第一传送组件、臭氧发生组件、真空组件、扩散组件和尾气处理组件；所述真空组件包括真空腔室、真空泵组和定位部，所述尾气处理组件通过所述真空泵组与所述真空腔室连接，所述定位部设置在所述真空腔室的入口或出口处，所述扩散组件设置在所述真空腔室内并位于所述第一传送组件的正上方，所述臭氧发生组件与所述扩散组件通过管道连接；所述扩散组件包括中空板体和分布在所述中空板体一板面上的若干气孔，所述气孔朝向所述第一传送组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳无限光能技术有限公司 高效臭氧清洗装置及玻璃基板蒸镀设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号